精密電主軸單元主要有高速電主軸，氣動主軸和水動主軸。其中高速電主軸z常見，高速電主軸單元是高速加工機場中z關鍵的部件之一。目前大多數電主軸結構都是把加工主軸與電機轉軸做成一體，以實現零傳動。同時電機外殼帶有冷卻系統，高速電主軸主要有帶冷卻系統的殼體，定子、轉子、軸承等部分組成，工作時通過改變電流的頻率來實現增減速度。